反應離子刻蝕機(RIE)，全稱為ReactiveIon Etching，是一種在半導體制造中廣泛使用的干法刻蝕技術。這項技術主要通過物理性和化學性的反應來實現對材料的準確刻蝕，以形成微細的電子結構。能夠實現較高的刻蝕精度，適用于微米甚至納米級別的圖案制作；該技術提供了良好的刻蝕方向性，有利于形成垂直側壁的微結構，這在半導體器件制造中較為重要；可以通過選擇合適的刻蝕氣體和調整工藝參數，實現對不同材料的選擇性刻蝕。
 

　　-等離子體生成：在低真空環境中，刻蝕氣體在高頻電場的影響下產生輝光放電，氣體分子或原子被電離形成等離子體。
 

　　-離子層形成：在平板電極間施加高頻電壓時，會形成數百微米厚的離子層，試樣置于其中，離子高速撞擊試樣進行化學反應刻蝕。
 

　　-表面相互作用：等離子體中的活性物種與基材表面的原子或分子發生反應，通過這種相互作用實現材料的準確去除，形成所需的微結構。
 

　　反應離子刻蝕機系統組成：
 

　　-真空系統：確保操作過程中處于低真空環境，有助于等離子體的生成和維持。
 

　　-供氣系統：向真空室中輸送特定的刻蝕氣體，這些氣體將在電場作用下生成等離子體。
 

　　-控制系統：準確調控工藝參數如氣體流量、能量輸入、刻蝕時間等，以確保刻蝕過程的準確性和重復性。
 

　　-計算機操作系統：現代的RIE設備通常配備計算機操作系統，用于實現復雜的工藝控制和數據管理。
 

　　反應離子刻蝕機的應用領域：
 

　　-半導體制造：在集成電路、微處理器、存儲器的生產中，用于形成電路圖案和微結構。
 

　　-光電子設備：在LED、激光二極管等光電子設備的制造過程中，用于制備微光學元件和光波導。
 

　　-MEMS技術：微機電系統(MEMS)的制造，如傳感器、執行器等，也廣泛采用RIE技術進行精密加工。