等離子表面處理儀合理的選擇能保證材料表面不被損傷，也能提升材料物理和化學性能，真空等離子處理儀處理材料是在真空環境下進行，不污染環境，保證樣品表面不被二次污染，泄壓時可以選擇氮氣泄壓，避免空氣泄壓對材料的影響，市面上真空等離子處理儀有眾多的品牌和型號，因此，選擇合適的尤為關鍵，下面就選型做簡單說明：

　　1.材料的大小

　　真空等離子處理是要把材料放入真空腔內進行處理，選擇真空腔尺寸的參考因素是材料的大小和批處理的數量，一般科研型的真空等離子處理儀的腔體是圓柱體，容積有2L、3L、5L和10L，材料尺寸大、批處理的量多，則選用大尺寸的腔體，反之，選擇小尺寸，一般選擇的是直徑150mm，深度200mm，容積3L的真空腔體。

　　2.材料的耐熱度

　　有些型號的真空等離子處理儀清洗腔在儀器運行時，腔內溫度會隨著清洗時間的增加逐漸升高，不銹鋼腔體真空等離子處理儀運行180秒，測出的腔體內溫度是60攝氏度，運行超過10分鐘，腔體溫度會達到85攝氏度，石英腔體真空等離子處理儀運行180秒，測出的腔體內溫度是40攝氏度，運行時間超過10分鐘，腔體溫度達43攝氏度。

　　等離子表面處理儀處理技術是干式處理法，替代了傳統的濕法處理技術具有以下優勢：

　　1.環保技術：等離子體作用過程是氣固相干式反應，不消耗水資源、無須添加化學藥劑；

　　2.效率高：整個工藝能在較短的時間內完成；

　　3.成本低：裝置簡單，容易操作維修，少量氣體代替了昂貴的清洗液，同時也無處理廢液成本；

　　4.處理更精細：能夠深入微細孔眼和凹陷的內部并完成清洗任務；

　　5.適用性廣：等離子表面處理技術能夠實現對大多數固態物質的處理，因此應用的領域非常廣泛。